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和其他产业不同,集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成,多晶硅净化工程安装,从单晶硅片制造,到IC制造的几乎所有环节,到IC封装都需要在洁净室中完成,且对于洁净度的要求非常高。如,14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高,对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环,直接决定了终产品的成败。









洁净室施工可以分为6个子系统,总体能分为洁净系统和机电系统,分别占洁净室工程的50%,50%。洁净室施工需要具备较强的基础和技术实力,属于技术密集型,毛利相对较高。对于集成电路项目和新型显示项目,一般来说,洁净室施工占总投资比例10%-15%,土建施工占总投资比例6-10%。总投资中70-80%投入到固定资产,固定资产中20-30%投入到厂房建设中,厂房建设可以分为3个部分,工程设计、土建施工、洁净室施工,其分别占的比例为2-7%,30-40%,50-70%。

在上述众多的施工安装工程中,除了工期紧迫、交叉施工多、工序组织难度高外,更要遵循洁净室内的建造管理原则,因此,除非由具有丰富经验的管理团队来担任此艰巨任务,否则是难以圆满完成的。作为置放生产机台主体的洁净室,其在整体工程的重要性不言而喻,做好洁净室的施工管理,就等于为未来生产的顺利成功打下了坚实的基础。


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